「電子ビーム描画装置JBX-5500SCの概要と操作方法」

日本電子株式会社 SE事業ユニット
小澤　寛司
主催：ＯＰＥＲＡ研究交流セミナー
共催：ＩＳＩＴ有機光エレクトロニクス研究特別室セミナー
共催：未来化学創造センターセミナー