研究室紹介
2015年3月に、最先端有機光エレクトロニクス研究センターは九州大学の伊都キャンパスに新しく建てられた共進化社会システムイノベーション施設に移動しました。
本センターには新材料の創出や薄膜・デバイスの特性評価のために様々な装置を保有しています。実験室の面積は2200㎡以上で、その中に1300㎡のクリーンルームや30人以上が利用できる有機合成室などが整備されています。
2020年
オープンキャンパス動画
Welcome to Laboratory Room 1st floor
1st Floor
クリーンルーム |
基板処理から成膜まで一貫してできるシステム。各成膜装置には、グローブボックスも併設しており、デバイスを不活性ガス雰囲気下で処理が可能です。 |
グローブボックスと直結した真空成膜装置(アルバック製)。グローブボックス側から基板や、材料も導入し、一切大気に曝さずデバイス作製が可能。 |
蒸着装置(ALS社製)。有機チャンバー(8源)、金属チャンバー(2源+EBガン)、スパッタ装置間を真空搬送により、多層構造のデバイスが作製可能。グローブボックスにデバイスを取り出し、封止が可能なシステム。 |
加速電圧50 kV、最小線幅 nmの電子線描画装置(Jeol社製)を用いて、DFBミラーや、光取りだし微細構造の描画を行っています。描画パターンの作製が非常に容易な装置です。 |
物理実験室 |
NMR室 |
クリーンルームで作製した有機EL、有機FET、有機OSCの電気光特性評価や、超高真空AFM(Jeol製)で分子レベルの薄膜観察を行っています。 |
ブルカー製500MHzのNMRを新規有機合成材料の同定に活用。隣には、リガク製XRD装置があり、薄膜の構造解析に活躍しています。 |