福岡産学連携交流センター
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Welcome to Laboratory of Fukuoka industry-academia symphonicity !
国内外の研究者、企業などの交流、新規地域産業の創出を図るため、2008年に竣工された福岡市の施設です。
OPERAでは蒸着装置、電子線描画器などの装置を設置、使用しています。
超高真空成膜装置 |
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10-8 Paを達成する超高真空成膜装置を使って最高性能のデバイスの作製や劣化解析を行っています |